Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло/

по Александров, Л. Н. Леонид Наумович, Бочкова, Р. В. Раиса Васильевна, Коган, А. Н. Алла Нахмановна, Тихонова, Н. П. Нина Петровна
Публикация 1991