Технология полупроводниковых материалов
Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных прие...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Санкт-Петербург
Лань
2022
|
| Edition: | 2-е изд., испр. |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/210869 https://e.lanbook.com/img/cover/book/210869.jpg |
| LEADER | 05671nam0a2200913 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | lan210869 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174147.0 | ||
| 008 | 221220s2022 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-8114-1290-7 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 620.22:621.382(075.8) | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технология полупроводниковых материалов |c Александров С. Е.,Греков Ф. Ф. |
| 250 | |a 2-е изд., испр. | ||
| 260 | |a Санкт-Петербург |b Лань |c 2022 | ||
| 300 | |a 240 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки | |
| 653 | 0 | |a алюминий | |
| 653 | 0 | |a бестигельная зонная плавка | |
| 653 | 0 | |a бинарное соединение | |
| 653 | 0 | |a бриджмена - стокбаргера метод | |
| 653 | 0 | |a бриджмена-стокбаргера метод | |
| 653 | 0 | |a вернейля метод | |
| 653 | 0 | |a выращивание монокристаллов | |
| 653 | 0 | |a выращивание полупроводниковых монокристаллов | |
| 653 | 0 | |a галлий | |
| 653 | 0 | |a германий | |
| 653 | 0 | |a глубокая | |
| 653 | 0 | |a глубокая очистка веществ | |
| 653 | 0 | |a глубокая очистка исходных веществ | |
| 653 | 0 | |a индий | |
| 653 | 0 | |a кирополуса метод | |
| 653 | 0 | |a киропулоса метод | |
| 653 | 0 | |a компонент | |
| 653 | 0 | |a компонент летучий | |
| 653 | 0 | |a компонент нелетучий | |
| 653 | 0 | |a кремний | |
| 653 | 0 | |a летучий | |
| 653 | 0 | |a механизм автокапиллярный | |
| 653 | 0 | |a микроэлектронные схемы интегральные - производство | |
| 653 | 0 | |a монокристалл | |
| 653 | 0 | |a монокристаллы | |
| 653 | 0 | |a мышьяк | |
| 653 | 0 | |a нономатериалы | |
| 653 | 0 | |a очистка | |
| 653 | 0 | |a очистка полупроводниковых материалов | |
| 653 | 0 | |a полупроводник | |
| 653 | 0 | |a полупроводниковое соединение | |
| 653 | 0 | |a полупроводниковые материалы | |
| 653 | 0 | |a полупроводниковые материалы - физико-химические свойства | |
| 653 | 0 | |a полупроводниковые материалы полупроводники | |
| 653 | 0 | |a примесь | |
| 653 | 0 | |a расплав | |
| 653 | 0 | |a синтез | |
| 653 | 0 | |a синтез полупроводниковых соединений | |
| 653 | 0 | |a синтез метастабильный | |
| 653 | 0 | |a система нитридная | |
| 653 | 0 | |a строение кристаллическое | |
| 653 | 0 | |a технология | |
| 653 | 0 | |a технология монокристаллов | |
| 653 | 0 | |a технология полупроводников | |
| 653 | 0 | |a учебник и пособие | |
| 653 | 0 | |a учебные пособия | |
| 653 | 0 | |a фаза метастабильная | |
| 653 | 0 | |a формообразование | |
| 653 | 0 | |a фосфор | |
| 653 | 0 | |a чохральского | |
| 653 | 0 | |a чохральского метод | |
| 653 | 0 | |a электроника | |
| 653 | 0 | |a электротехника | |
| 100 | 1 | |a Александров С. Е. | |
| 700 | 1 | |a Греков Ф. Ф. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/210869 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/210869.jpg |
| 910 | |a ЭБС Лань | ||