Технология полупроводниковых материалов

Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных прие...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Александров С. Е.
Other Authors: Греков Ф. Ф.
Format: Book
Language:Russian
Published: Санкт-Петербург Лань 2022
Edition:2-е изд., испр.
Subjects:
Online Access:https://e.lanbook.com/book/210869
https://e.lanbook.com/img/cover/book/210869.jpg
LEADER 05671nam0a2200913 i 4500
001 lan210869
003 RuSpLAN
005 20221220174147.0
008 221220s2022 ru gs 000 0 rus
020 |a 978-5-8114-1290-7 
040 |a RuSpLAN 
041 0 |a rus 
044 |a ru 
080 |a 620.22:621.382(075.8) 
245 0 0 |a Технология полупроводниковых материалов  |c Александров С. Е.,Греков Ф. Ф. 
250 |a 2-е изд., испр. 
260 |a Санкт-Петербург  |b Лань  |c 2022 
300 |a 240 с. 
504 |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань 
520 8 |a Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования. 
521 8 |a Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки 
653 0 |a алюминий 
653 0 |a бестигельная зонная плавка 
653 0 |a бинарное соединение 
653 0 |a бриджмена - стокбаргера метод 
653 0 |a бриджмена-стокбаргера метод 
653 0 |a вернейля метод 
653 0 |a выращивание монокристаллов 
653 0 |a выращивание полупроводниковых монокристаллов 
653 0 |a галлий 
653 0 |a германий 
653 0 |a глубокая 
653 0 |a глубокая очистка веществ 
653 0 |a глубокая очистка исходных веществ 
653 0 |a индий 
653 0 |a кирополуса метод 
653 0 |a киропулоса метод 
653 0 |a компонент 
653 0 |a компонент летучий 
653 0 |a компонент нелетучий 
653 0 |a кремний 
653 0 |a летучий 
653 0 |a механизм автокапиллярный 
653 0 |a микроэлектронные схемы интегральные - производство 
653 0 |a монокристалл 
653 0 |a монокристаллы 
653 0 |a мышьяк 
653 0 |a нономатериалы 
653 0 |a очистка 
653 0 |a очистка полупроводниковых материалов 
653 0 |a полупроводник 
653 0 |a полупроводниковое соединение 
653 0 |a полупроводниковые материалы 
653 0 |a полупроводниковые материалы - физико-химические свойства 
653 0 |a полупроводниковые материалы полупроводники 
653 0 |a примесь 
653 0 |a расплав 
653 0 |a синтез 
653 0 |a синтез полупроводниковых соединений 
653 0 |a синтез метастабильный 
653 0 |a система нитридная 
653 0 |a строение кристаллическое 
653 0 |a технология 
653 0 |a технология монокристаллов 
653 0 |a технология полупроводников 
653 0 |a учебник и пособие 
653 0 |a учебные пособия 
653 0 |a фаза метастабильная 
653 0 |a формообразование 
653 0 |a фосфор 
653 0 |a чохральского 
653 0 |a чохральского метод 
653 0 |a электроника 
653 0 |a электротехника 
100 1 |a Александров С. Е. 
700 1 |a Греков Ф. Ф. 
856 4 |u https://e.lanbook.com/book/210869 
856 4 8 |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/210869.jpg 
910 |a ЭБС Лань