Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и о...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
Изд-во ТПУ
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
| Summary: | В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий. |
|---|---|
| Physical Description: | 135 с. ил. |
| Bibliography: | Библиогр.: с. 131-135. |
