Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и о...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Кривобоков, В. П. физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук 1948-
Other Authors: Сочугов доцент кафедры водородной энергетики и плазменных технологий Томского Политехнического Университета, Соловьёв российский учёный в области водородной энергетики и плазменной технологии доцент Томского политехнического университета
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск Изд-во ТПУ 2011
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ
Description
Summary:В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.
Physical Description:135 с. ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 131-135.