Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и о...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Кривобоков, В. П. физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук 1948-
Other Authors: Сочугов доцент кафедры водородной энергетики и плазменных технологий Томского Политехнического Университета, Соловьёв российский учёный в области водородной энергетики и плазменной технологии доцент Томского политехнического университета
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск Изд-во ТПУ 2011
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ
LEADER 03958nam a2200493 4500
001 libtpu00211632
008 120316s2011 ru a k 0001 m rus
035 0 0 |a (RuTPU)RUTPUbook231198 
035 0 0 |a RUTPUbook225378 
040 |a RU  |b rus  |c RU  |d Ru-TPU 
040 |a RU  |c RU  |d Ru-TPU 
080 |a 621.793.74(075.8) 
100 1 |a Кривобоков, В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |d 1948- 
245 1 0 |a Плазменные покрытия (свойства и применение)  |b учебное пособие  |c В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьёв 
260 |a Томск  |b Изд-во ТПУ  |c 2011 
300 |a 135 с.  |b ил. 
504 |a Библиогр.: с. 131-135. 
520 |a В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий. 
650 1 0 |a Плазменное напыление  |x Физико-химические процессы 
653 |a плазменные технологии 
653 |a плазменные покрытия 
653 |a нанесение 
653 |a поверхности 
653 |a подготовка 
653 |a применение 
653 |a физические свойства 
653 |a химические свойства 
653 |a механические свойства 
653 |a оптические покрытия 
653 |a износостойкость 
653 |a углеродные покрытия 
653 |a коррозионно-эрозионностойкие покрытия 
653 |a алмазоподобные покрытия 
653 |a интерференционные зеркала 
653 |a интерференционные фильтры 
653 |a низкоэмиссионные покрытия 
653 |a гидрофобные поверхности 
653 |a гидрофильные покрытия 
653 |a декоративные покрытия 
653 |a учебные пособия 
653 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Сочугов  |c доцент кафедры водородной энергетики и плазменных технологий Томского Политехнического Университета  |g Николай Семенович 
700 1 |a Соловьёв  |c российский учёный в области водородной энергетики и плазменной технологии  |c доцент Томского политехнического университета  |g Андрей Александрович 
856 |y Перейти в каталог НТБ ТПУ  |u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=211632