Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и о...

Полное описание

Библиографическая информация
Главный автор: Кривобоков, В. П. физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук 1948-
Другие авторы: Сочугов доцент кафедры водородной энергетики и плазменных технологий Томского Политехнического Университета, Соловьёв российский учёный в области водородной энергетики и плазменной технологии доцент Томского политехнического университета
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск Изд-во ТПУ 2011
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог НТБ ТПУ

Похожие документы