|
|
|
|
| LEADER |
03987nlm a2200493 4500 |
| 001 |
libtpu00216911 |
| 008 |
120529s2011 ru a k 0001 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook236886
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 040 |
|
|
|a RU
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.74(075.8)
|
| 100 |
1 |
|
|a Кривобоков, В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|d 1948-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Плазменные покрытия (свойства и применение)
|b учебное пособие
|c В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьёв
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|b Изд-во ТПУ
|c 2011
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 520 |
|
|
|a В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Плазменное напыление
|x Физико-химические процессы
|
| 653 |
|
|
|a плазменные технологии
|
| 653 |
|
|
|a плазменные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a нанесение
|
| 653 |
|
|
|a поверхности
|
| 653 |
|
|
|a подготовка
|
| 653 |
|
|
|a применение
|
| 653 |
|
|
|a физические свойства
|
| 653 |
|
|
|a химические свойства
|
| 653 |
|
|
|a механические свойства
|
| 653 |
|
|
|a оптические покрытия
|
| 653 |
|
|
|a износостойкость
|
| 653 |
|
|
|a углеродные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a коррозионно-эрозионностойкие покрытия
|
| 653 |
|
|
|a алмазоподобные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a интерференционные зеркала
|
| 653 |
|
|
|a интерференционные фильтры
|
| 653 |
|
|
|a низкоэмиссионные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a гидрофобные поверхности
|
| 653 |
|
|
|a гидрофильные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a декоративные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 700 |
1 |
|
|a Сочугов
|c доцент кафедры водородной энергетики и плазменных технологий Томского Политехнического Университета
|g Николай Семенович
|
| 700 |
1 |
|
|a Соловьёв
|c российский учёный в области водородной энергетики и плазменной технологии
|c доцент Томского политехнического университета
|g Андрей Александрович
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2012/m260.pdf
|
