Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и о...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
Изд-во ТПУ
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2012/m260.pdf |