|
|
|
|
| LEADER |
01921nlm a2200349 4500 |
| 001 |
libtpu00238522 |
| 008 |
130528s2013 ru a d 0000 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook259717
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUbook259708
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 666.23(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Линник, С. А.
|c физик
|c инженер-исследователь Томского политехнического университета
|d 1985-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде
|b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|b спец. 01.04.07
|c С. А. Линник
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2013
|
| 300 |
|
|
|a 1 файл (2.5 Mb)
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Алмазы синтетические
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a поликристаллические алмазные пленки
|
| 653 |
|
|
|a свойства
|
| 653 |
|
|
|a применение
|
| 653 |
|
|
|a синтез
|
| 653 |
|
|
|a аномальный тлеющий разряд
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a оптико-эмиссионная спектроскопия
|
| 653 |
|
|
|a осаждение
|
| 700 |
1 |
|
|a Ремнев
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|g Геннадий Ефимович
|4 727
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2013/40.pdf
|
