Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07 - Линник, С. А. физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1985- (2013)