Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author: Баинов, Д. Д. специалист в области плазменных технологий научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1978-
Other Authors: Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2013
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ
Description
Item Description:Защита сост. 25.06.2013 г.
Physical Description:23 с. ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 21-23 (17 назв.).