Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author: Баинов, Д. Д. специалист в области плазменных технологий научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1978-
Other Authors: Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2013
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ
LEADER 02254nam a2200385 4500
001 libtpu00241129
008 130703s2013 ru a d 0001 m rus
035 0 0 |a (RuTPU)RUTPUbook262395 
040 |a RU  |b rus  |c RU  |d Ru-TPU 
040 |a RU  |c RU  |d Ru-TPU 
080 |a 666.1.05(04) 
084 |a 01.04.07  |2 oksvnk 
100 1 |a Баинов, Д. Д.  |c специалист в области плазменных технологий  |c научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |d 1978- 
245 1 0 |a Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий  |b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  |b спец. 01.04.07  |c Д. Д. Баинов 
260 |a Томск  |c 2013 
300 |a 23 с.  |b ил. 
500 |a Защита сост. 25.06.2013 г. 
504 |a Библиогр.: с. 21-23 (17 назв.). 
650 1 0 |a Стекло  |x Теплоотражающие покрытия 
653 |a осаждение 
653 |a тонкие пленки 
653 |a оптические свойства 
653 |a моделирование 
653 |a расчет 
653 |a технология 
653 |a промышленные установки 
653 |a плазменные установки 
653 |a плазма 
653 |a магнетронный разряд 
653 |a ионные пучки 
653 |a тонкопленочные покрытия 
653 |a авторефераты диссертаций 
653 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Кривобоков  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |g Валерий Павлович  |4 727 
856 |y Перейти в каталог НТБ ТПУ  |u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241129