Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
| Item Description: | Защита сост. 25.06.2013 г. |
|---|---|
| Physical Description: | 24 с. ил. |
| Bibliography: | Библиогр.: с. 24 (7 назв.). |