Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Main Author: Линник, С. А. физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1985-
Other Authors: Ремнев физик профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2013
Subjects:
Алмазы синтетические
поликристаллические алмазные пленки
свойства
применение
синтез
аномальный тлеющий разряд
плазма
оптико-эмиссионная спектроскопия
осаждение
авторефераты диссертаций
труды учёных ТПУ
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ

Similar Items

Similar Items