Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2013
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
| Примечание: | Защищена 25.06.2013 г. |
|---|---|
| Объем: | 103 л. ил. |
| Библиография: | Библиогр.: с. 98-103 (109 назв.). |