Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
| Item Description: | Защищена 25.06.2013 г. |
|---|---|
| Physical Description: | 103 л. ил. |
| Bibliography: | Библиогр.: с. 98-103 (109 назв.). |