LEADER 01873nbm a2200349 4500
001 libtpu00241135
008 130703 20130625ru a 0001 m rus
035 0 0 |a (RuTPU)RUTPUbook262401 
035 0 0 |a RUTPUbook262400 
040 |a RU  |b rus  |c RU  |d Ru-TPU 
040 |a RU  |c RU  |d Ru-TPU 
080 |a 666.23(04) 
084 |a 01.04.07  |2 oksvnk 
100 1 |a Линник, С. А.  |c физик  |c инженер-исследователь Томского политехнического университета  |d 1985- 
245 1 0 |a Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде  |b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  |b спец. 01.04.07  |c С. А. Линник 
260 |a Томск  |c 2013 
300 |a 103 л.  |b ил. 
500 |a Защищена 25.06.2013 г. 
504 |a Библиогр.: с. 98-103 (109 назв.). 
650 1 0 |a Алмазы синтетические 
653 |a поликристаллические алмазные пленки 
653 |a свойства 
653 |a применение 
653 |a синтез 
653 |a аномальный тлеющий разряд 
653 |a плазма 
653 |a оптико-эмиссионная спектроскопия 
653 |a осаждение 
653 |a диссертации 
653 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Ремнев  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |g Геннадий Ефимович  |4 727 
856 |y Перейти в каталог НТБ ТПУ  |u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=241135