Основы фотолитографии учебное пособие
В пособии изложены основы процессов фотолитографии для производства изделий электронной техники в строгой последовательности химических и физико-химических операций. Дан необходимый теоретический материал, описаны методики проведения практических работ по всему циклу фотолитографии и контроля качест...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
Изд-во ТПУ
2013
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2013/m308.pdf |