Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуу...
| Other Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
Изд-во ТПУ
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2014/m066.pdf |
| Summary: | Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества". |
|---|---|
| Item Description: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации |