Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Показать другие варианты (2)

Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуу...

Полное описание

Библиографическая информация
Другие авторы: Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук, Шулепов физик старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук, Дегтярёв, Степанов физик заведующий лабораторией Центра исследования свойств материалов Томского политехнического университета, доктор технических наук
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск Изд-во ТПУ 2013
Предметы:
Плазменное напыление > Физико-химические процессы
электронный ресурс
учебные пособия
труды учёных ТПУ
ионно-плазменные технологии
покрытия
поверхности
твердые тела
вакуумно-дуговые испарения
магнетронные напыления
тонкие пленки
ионно-плазменные методы
ионная имплантация
плазма
тлеющий разряд
газоразрядная плазма
физические установки
Радуга-Спектр
Online-ссылка:http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2014/m066.pdf

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2014/m066.pdf

Похожие документы