Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие

Показать другие варианты (2)

Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуу...

Полное описание

Библиографическая информация
Другие авторы:	Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук, Шулепов физик старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук, Дегтярёв, Степанов физик заведующий лабораторией Центра исследования свойств материалов Томского политехнического университета, доктор технических наук
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск Изд-во ТПУ 2013
Предметы:	Плазменное напыление > Физико-химические процессы электронный ресурс учебные пособия труды учёных ТПУ ионно-плазменные технологии покрытия поверхности твердые тела вакуумно-дуговые испарения магнетронные напыления тонкие пленки ионно-плазменные методы ионная имплантация плазма тлеющий разряд газоразрядная плазма физические установки Радуга-Спектр
Online-ссылка:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2014/m066.pdf

Похожие документы

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец.01.04.20
по: Бумагина, А. И. физик младший научный сотрудник Томского политехнического университета 1987-
Публикация: (2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
по: Бумагина, А. И. физик младший научный сотрудник Томского политехнического университета 1987-
Публикация: (2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
по: Бумагина, А. И. физик младший научный сотрудник Томского политехнического университета 1987-
Публикация: (2015)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2000)

Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
Публикация: (2011)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Публикация: (2016)

Плазменные электротехнологические установки учебное пособие : [для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки "Электроэнергетика и электротехника"]
по: Чередниченко, Владимир Семенович
Публикация: (2020)

Ионно-плазменная обработка материалов: производственно-практическое издание/
по: Ивановский, Г. Ф. Геннадий Фомич, et al.
Публикация: (1986)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1987)

Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий

Перспективные радиационно-пучковые технологии обработки материалов [учебник для студентов вузов, обучающихся по специальностям: "Физика металлов", "Физика твердого тела", "Электронное машиностроение" ]
Публикация: (2001)

Влияние ионно-плазменного трибологического покрытия Ti-C-Mo-S на сопротивление микродеформации крупнозернистого и субмикрокристаллического титанового сплава ВТ6

Осаждение многослойного покрытия в газометаллическом пучково-плазменном образовании при низком давлении

Технологические установки для эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий на основе источников низкотемпературной плазмы

Электронно-ионно-плазменные методы модификации поверхности металлов и сплавов

Исследование градиентной структуры поверхностных слоев NiTi, формирующейся при ионной имплантации
по: Шмидт, Екатерина Юрьевна

Получение люминесцентных структур ядро/оболочка ионно-плазменным методом

Моделирование генерации плазмы и электронного пучка в источниках с плазменным катодом автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
по: Нгуен Бао Хынг, вьетнамский специалист в области информатики и вычислительной техники ассистент кафедры Томского политехнического университета
Публикация: (2016)

Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии/
по: Комаров, Ф. Ф. Фадей Фадеевич, et al.
Публикация: (1990)

Исследование структуры и механических свойств покрытий AlMgB14

Развитие комплексного электронно-ионно-плазменного метода модификации поверхности материалов и изделий

Effect of vacuum conditions and plasma concentration on the chemical composition and adhesion of vacuum-plasma coatings
по: Borisov, Dmitry P.

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Источник ионов на основе вакуумного дугового и тлеющего разрядов для модификации поверхности полимерных материалов

Возбуждение ленгмюровской и ионно-звуковой волн в плазме двумя электромагнитными волнами
по: Климов, Олег Викторович

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Эффективная генерация объемной газоразрядной плазмы с помощью несамостоятельного газового дугового разряда

Структура и свойства высокоэнтропийных полиметаллических пленок, синтезированных ионно-плазменным методом

Плазменные источники электронов/
по: Крейндель, Ю. Е. Юлий Ефимович
Публикация: (1977)

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)

Влияние режимов ионно-лучевого травления на процесс радиационного нагрева CdxHg1-xTe
по: Талипов, Нияз Хатимович

Оценка возможностей применения технологии ионно-плазменной модифицирующей обработки поверхности наноструктурированных титановых сплавов
по: Бауэр, Владимир Сергеевич

Протяженный цилиндрический плазменный эмиттер на основе дугового разряда низкого давления для генерации радиально расходящегося электронного пучка

Структура и свойства поверхностного слоя на основе никелида титана и тантала, полученного с использованием электронно-ионно-плазменных методов
по: Гудимова, Екатерина Юрьевна

Электронно-микроскопические исследования микроструктуры нанокомпозитных сверхтвердых покрытий, полученных методом ионно-плазменного напыления
по: Мошков, Владимир Юрьевич

Материалы пленарных докладов ФНТП-2001 и лекции школ по физике низкотемператрной плазмы 2000 и 2001 г.
Публикация: (2001)