Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие - Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук; Шулепов физик инженер-проектировщик Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук; Дектярев физик инженер-проектировщик Томского политехнического университета; Степанов физик заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук (Изд-во ТПУ, 2014)
Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких пленок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка Радуга-Спектр кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы и, кроме того, снабженная генератором газовой плазмы и электронной пушкой.Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 Физика конденсированного состояния вещества.