|
|
|
|
| LEADER |
03981nlm a2200457 4500 |
| 001 |
libtpu00296811 |
| 008 |
150603s2014 ru a k 0001 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook321919
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUbook277526
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 040 |
|
|
|a RU
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.74(075.8)
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей
|h Электронный ресурс
|b учебное пособие
|c Н. Н. Никитенков [и др.]
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|b Изд-во ТПУ
|c 2014
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 520 |
|
|
|a Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества".
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Плазменное напыление
|x Физико-химические процессы
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a ионно-плазменные технологии
|
| 653 |
|
|
|a покрытия
|
| 653 |
|
|
|a поверхности
|
| 653 |
|
|
|a твердые тела
|
| 653 |
|
|
|a вакуумно-дуговые испарения
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные напыления
|
| 653 |
|
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
|
|
|a ионно-плазменные технологии
|
| 653 |
|
|
|a ионно-плазменные методы
|
| 653 |
|
|
|a ионная имплантация
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a тлеющий разряд
|
| 653 |
|
|
|a газоразрядная плазма
|
| 653 |
|
|
|a физические установки
|
| 653 |
|
|
|a Радуга-Спектр
|
| 700 |
1 |
|
|a Никитенков
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Николай Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Шулепов
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|g Иван Анисимович
|
| 700 |
1 |
|
|a Дегтярёв
|g Сергей Валентинович
|
| 700 |
1 |
|
|a Степанов
|c физик
|c заведующий лабораторией Центра исследования свойств материалов Томского политехнического университета, доктор технических наук
|g Игорь Борисович
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2015/m183.pdf
|
