Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие - Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук; Шулепов физик старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук; Дегтярёв; Степанов физик заведующий лабораторией Центра исследования свойств материалов Томского политехнического университета, доктор технических наук (Изд-во ТПУ, 2014)
Пособие посвящено преимущественно конструкционным особенностям ионно-плазменных технологий формирования покрытий и модификации поверхностей. Затронуты механизмы роста тонких плёнок. Описаны имеющиеся методы осаждения покрытий на основе магнетронного распыления и имплантации из металлической вакуумно-дуговой плазмы. Подробно описана установка "Радуга-Спектр" кафедры общей физики ФТИ НИ ТПУ, в которой совмещены указанные методы, и кроме того, снабженной генератором газовой плазмы и электронной пушкой. Предназначено для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по специальности 01.04.07 "Физика конденсированного состояния вещества".