Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Main Author: Бумагина, А. И. физик младший научный сотрудник Томского политехнического университета 1987-
Other Authors: Рябчиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск [Б. и.] 2015
Subjects:
Электрический разряд в газах
физика
вакуумные дуги
импульсно-периодический потенциал
смещения
плазма
макрочастицы
мишени
фильтрация
ионно-плазменное осаждение
покрытия
ионно-плазменная обработка
металлы
имплантация
вакуумно-дуговая плазма
микрокапельная фракция
диссертации
труды учёных ТПУ
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ
Show all versions (2)

Similar Items