|
|
|
|
| LEADER |
05141nam a2200517 4500 |
| 001 |
libtpu00314887 |
| 008 |
160219s2016 ru a k 0001 m rus |
| 021 |
1 |
0 |
|a 9785991671552
|
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook340319
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 040 |
|
|
|a RU
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.396.6:53(075.8)
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы
|b учебник для бакалавриата и магистратуры
|c В. И. Иванов [и др.]
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b Юрайт
|c 2016
|
| 300 |
|
|
|a 459 с.
|b ил.
|
| 490 |
1 |
|
|a Университеты России
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 405-406.
|
| 520 |
|
|
|a Серия Университеты России позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры - технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям Проектирование и технология электронных устройств, Проектирование и технология радиоэлектронных средств, Конструирование и технология радиоэлектронных стредств и Микроэлектроника, может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Радиоэлектронная аппаратура
|x Физические основы
|
| 653 |
|
|
|a кремниевые пластины
|
| 653 |
|
|
|a производство
|
| 653 |
|
|
|a кремний
|
| 653 |
|
|
|a оксидирование
|
| 653 |
|
|
|a диффузионные процессы
|
| 653 |
|
|
|a литографические процессы
|
| 653 |
|
|
|a сухое травление
|
| 653 |
|
|
|a сборка
|
| 653 |
|
|
|a ионное легирование
|
| 653 |
|
|
|a герметизация
|
| 653 |
|
|
|a покрытия
|
| 653 |
|
|
|a вакуумное выпаривание
|
| 653 |
|
|
|a ионное распыление
|
| 653 |
|
|
|a диэлектрические покрытия
|
| 653 |
|
|
|a монокристаллические слои
|
| 653 |
|
|
|a выпаривание
|
| 653 |
|
|
|a эпитаксиальные методы
|
| 653 |
|
|
|a интегральные схемы
|
| 653 |
|
|
|a металлизация
|
| 653 |
|
|
|a учебники
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
1 |
|
|a Гуляев
|g Юрий Васильевич
|c российский физик
|c академик РАН
|4 340
|
| 700 |
1 |
|
|a Лучников
|g Петр Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Сигов
|c физик
|c ведущий научный сотрудник Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Александр Сергеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Суржиков
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Анатолий Петрович
|
| 830 |
|
|
|a Университеты России
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НТБ ТПУ
|u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=314887
|
