Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы учебник для бакалавриата и магистратуры

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы учебник для бакалавриата и магистратуры

Серия Университеты России позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные...

Полное описание

Библиографическая информация
Другие авторы:	Гуляев российский физик академик РАН (340), Лучников, Сигов физик ведущий научный сотрудник Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук, Суржиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Москва Юрайт 2016
Серии:	Университеты России
Предметы:	Радиоэлектронная аппаратура > Физические основы кремниевые пластины производство кремний оксидирование диффузионные процессы литографические процессы сухое травление сборка ионное легирование герметизация покрытия вакуумное выпаривание ионное распыление диэлектрические покрытия монокристаллические слои выпаривание эпитаксиальные методы интегральные схемы металлизация учебники труды учёных ТПУ
Online-ссылка:	Перейти в каталог НТБ ТПУ

Похожие документы

Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника]
по: Тимошенков, Сергей Петрович 1957-
Публикация: (2011)

Релаксация электрофизических параметров n-слоев в МЛЭ эпитаксиальных пленках p-CdxHg1-xTe сформированных ионной имплантацией и ионным травлением

Ионное травление микроструктур: научное издание/
по: Данилин Борис Степанович, et al.
Публикация: (1979)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2000)

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009)

Технология СБИС в 2 кн.
Публикация: (1986)

Background donor concentration in HgCdTe

Ion implantation and ion milling in MBE Hg1-xCdxNe films

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Публикация: (2016)

Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06/
по: Вертянов, Д. В. Денис Васильевич
Публикация: (2020)

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"]
по: Цветков, Юрий Борисович
Публикация: (2018)

Выпаривание
по: Таубман, Ефим Исаакович
Публикация: (1982)

Выпаривание/
по: Таубман, Е. И. Ефим Исаакович
Публикация: (1982)

Распределения стабильных кластеров по размерам и зарядам при ионном распылении металла
по: Матвеев, Виктор Иванович

Long-term stability of electron concentration in HgCdTe-based p-n junctions fabricated with ion etching

Долговременная стабильность CdHgTe n+-n-структур, сформированных ионным травлением

Релаксация и долговременная стабильность МЛЭ CdHgTe n+-n-структур, сформированных ионным травлением

Effect of irradiation with continuous 28 MeV He2+ ion beam and short-pulsed 200 keV C+ ion beam on optical properties of multilayer Al-Si-N coatings

Composite biphase coatings formed by hybrid technology for biomedical applications

Динамика электрических свойств конвертированных при ионной имплантации и ионном травлении n-слоев в р-CdxHg1-xTe

Исследование омических контактов НЕМТ транзисторов на основе GaN: диссертация ... кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
по: Сим, П. Е. Павел Евгеньевич
Публикация: (2018)

Примерная программа учебной дисциплины "Технология наносистем": учебные программы/
Публикация: (2011)

Электрофизические и оптические исследования дефектной структуры методом молекулярно-лучевой эпитаксии пленок CdHgTe

Технология СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007)

Формирование α-Al2O3-покрытий реакционным испарением с интенсивным ионным сопровождением при 500–550 °С

Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Бурдовицын, В. А. Виктор Алексеевич
Публикация: (1981)

Долговременная стабильность p-n переходов в МЛЭ гетероструктурах CdxHg1-xTe, сформированных ионным травлением

Конструктивно-технологические решения для создания кварцевого чувствительного элемента акселерометра с повышенной температурной стабильностью нулевого сигнала: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 2.2.2/
по: Харламов, М. С. Максим Сергеевич
Публикация: (2022)

Герметизация и бескорпусная защита полупроводниковых приборов и радиоэлектронных устройств/
Публикация: (1970)

Ion etching of HgCdTe: Properties, patterns and use as a method for defect studies

Электронно-ионное оборудование технологического назначения: /
по: Носков, Д. А. Дмитрий Александрович
Публикация: (1973)

Пучки распыляющих ионов: получение и применение: монография/
по: Семенов Александр Петрович
Публикация: (1999)

Химическая металлизация пластмасс: научное издание/
по: Шалкаускас, М. О. Мудис Ионо, et al.
Публикация: (1972)

Технология упрочнения в 2 т.
по: Поляк, Михаил Семенович
Публикация: (1995)

Анатомический атлас растений-углеобразователей палеозоя
по: Кизильштейн, Леонид Яковлевич
Публикация: (1999)

Генерация интенсивных низкоэнергетичных потоков ионов газа
по: Шандриков, Максим Валентинович

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Публикация: (1982)

Электрофизические свойства эпитаксиальных пленок CdxHg1-xTe, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии, после низкоэнергетического ионного воздействия
по: Волков, В. С.

Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы
по: Кузьмичев, Анатолий Иванович доктор техн. наук

Примеры и задачи по курсу процессов и аппаратов химической технологии: учебное пособие/
по: Павлов, К. Ф., et al.
Публикация: (1964)