Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры

Серия Университеты России позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные...

Полное описание

Библиографическая информация
Другие авторы:	Сигов физик ведущий научный сотрудник Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (340), Лучников, Суржиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Москва Юрайт 2016
Серии:	Университеты России
Предметы:	Радиоэлектронная аппаратура > Физические основы ускоренные ионы взаимодействие с веществом ионно-плазменные технологические процессы тонкие пленки покрытия формирование ионно0плазменное нанесение ионно-плазменное травление интегральные схемы микротехнология микроприборы производство ионное легирование диффузионная сварка учебники труды учёных ТПУ
Online-ссылка:	Перейти в каталог НТБ ТПУ

Похожие документы

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2000)

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
Публикация: (2011)

Структура поверхностных слоев NiTi после ионно-плазменного легирования Ta

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
по: Данилин, Борис Степанович
Публикация: (1987)

Роль кристаллографической анизотропии NiTi в формировании поверхностных слоев при ионно-плазменном легировании

Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов

Получение износостойких нанокристаллических композиционных слоев на силуминах с помощью электронно-ионно-плазменного воздействия

Разработка и исследование ионно-оптических систем с высокочастотной фильтрацией: Диссертация представлена на соиск. уч. ст. канд. техн. наук/
по: Илюшкин, В. А.
Публикация: (1978)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Влияние ионно-плазменного воздействия на фазовый состав и микротвердость упрочненных слоев в стали AISI 316L с разным размером зерна
по: Москвина, Валентина Александровна

Влияние ионно-плазменного трибологического покрытия Ti-C-Mo-S на сопротивление микродеформации крупнозернистого и субмикрокристаллического титанового сплава ВТ6

Особенности азотирования поверхности мелкомодульного зубчатого венца в импульсно-периодическом газовом пучково-плазменном образовании при низком давлении

Исследование градиентной структуры поверхностных слоев NiTi, формирующейся при ионной имплантации
по: Шмидт, Екатерина Юрьевна

Исследование структуры и механических свойств покрытий AlMgB14

Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
по: Григорьев Федор Иосифович
Публикация: (2008)

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009)

Ионно-плазменная обработка материалов: производственно-практическое издание/
по: Ивановский, Г. Ф. Геннадий Фомич, et al.
Публикация: (1986)

Исследование ионно-плазменных нитридных покрытий, полученных распылением композиционных порошковых катодов Ti-Al-Si

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/
по: Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, et al.
Публикация: (1983)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
по: Галперин, Вячеслав Александрович
Публикация: (2010)

Термическая стабильность структуры и оптических свойств наноструктурированных пленок TiO2

Ion etching of HgCdTe: Properties, patterns and use as a method for defect studies

Наноструктурирование поверхности силумина эвтектоидного состава электронно-ионно-плазменными методами

Электронно-микроскопические исследования микроструктуры нанокомпозитных сверхтвердых покрытий, полученных методом ионно-плазменного напыления
по: Мошков, Владимир Юрьевич

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Влияние ионно-плазменной модифицирующей обработки на механические и трибологические свойства крупнозернистого и ультрамелкозернистого титанового сплава ВТ6

Получение люминесцентных структур ядро/оболочка ионно-плазменным методом

О нагреве Cd0,22Hg0,78Te в процессе ионно-лучевого травления
по: Талипов, Нияз Хатимович

Электронно-микроскопическое исследование микроструктуры нанокомпозитных покрытий TiN-Cu, полученных методом ионно-плазменного напыления
по: Мошков, Владимир Юрьевич

Легирование германия и кремния ионно-лучевым методом: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Зорин, Е. И.
Публикация: (1969)

Thermal stability of the structure and optical properties of nanostructured TiO2 films

Оценка возможностей применения технологии ионно-плазменной модифицирующей обработки поверхности наноструктурированных титановых сплавов
по: Бауэр, Владимир Сергеевич

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2005)

Разработка Института сильноточной электроники Сибирского отделения РАН в области вакуумных электронно-ионно-плазменных технологий

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)

Влияние режимов ионно-лучевого травления на процесс радиационного нагрева CdxHg1-xTe
по: Талипов, Нияз Хатимович

Структура и свойства высокоэнтропийных полиметаллических пленок, синтезированных ионно-плазменным методом