Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Серия Университеты России позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные...
| Other Authors: | Сигов физик ведущий научный сотрудник Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (340), Лучников, Суржиков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Юрайт
2016
|
| Series: | Университеты России
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
Similar Items
-
Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011) -
Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2000) -
Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
Published: (2011) - Структура поверхностных слоев NiTi после ионно-плазменного легирования Ta
-
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
by: Данилин, Борис Степанович
Published: (1987)
