Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546 |
| Item Description: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации |
|---|---|
| Physical Description: | 1 файл (3.77 Мb) |
