|
|
|
|
| LEADER |
02151nlm a2200349 4500 |
| 001 |
libtpu00318165 |
| 008 |
160421 2016 ru a 0001 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook343662
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUbook343661
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Юрьев, Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник
|d 1984-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
|b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|b спец. 01.04.07
|c Ю. Н. Юрьев
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2016
|
| 300 |
|
|
|a 1 файл (3.77 Мb)
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Тонкопленочные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a диссертации
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a оксид титана
|
| 653 |
|
|
|a углерод
|
| 653 |
|
|
|a аморфный углерод
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные системы
|
| 653 |
|
|
|a распылительные системы
|
| 653 |
|
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 653 |
|
|
|a осаждение
|
| 700 |
1 |
|
|a Кривобоков
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Валерий Павлович
|4 727
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546
|
