Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Main Author: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Other Authors: Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2016
Subjects:
Тонкопленочные покрытия
диссертации
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
оксид титана
углерод
аморфный углерод
магнетронные системы
распылительные системы
тонкие пленки
магнетронные распылительные системы
осаждение
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546

Similar Items

Similar Items