Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Главный автор: | Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984- |
|---|---|
| Другие авторы: | Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727) |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2016
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546 |
Похожие документы
-
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016) -
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016) -
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016) -
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
по: Блейхер, Галина Алексеевна -
Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Рычков Дмитрий Сергеевич
Публикация: (2004)
