Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07 - Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984- ([Б. и.], 2016)