Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Главный автор: | Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984- |
|---|---|
| Другие авторы: | Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727) |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
[Б. и.]
2016
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
Похожие документы
-
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016) -
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016) -
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016) -
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
по: Блейхер, Галина Алексеевна -
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом
по: Захаров, А. Н.
