Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
[Б. и.]
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
| Item Description: | Защита сост. 19.10.2016 г. |
|---|---|
| Physical Description: | 25 с. ил. |
| Bibliography: | Библиогр.: с. 23-25 (8 назв.) |