Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Other Authors: Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск [Б. и.] 2016
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ

Similar Items