Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
| Main Author: | Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982- |
|---|---|
| Other Authors: | Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727) |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
[Б. и.]
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
Similar Items
-
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Published: (2016) -
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Published: (2016) - Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
- Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления
-
Формирование биосовместимых кальций-фосфатных покрытий методом высокочастотного магнетронного распыления: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.07/
by: Сурменев, Р. А. Роман Анатольевич
Published: (2008)
