Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
| Главный автор: | Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982- |
|---|---|
| Другие авторы: | Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727) |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
[Б. и.]
2016
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
Похожие документы
-
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016) -
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016) - Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
- Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления
-
Формирование биосовместимых кальций-фосфатных покрытий методом высокочастотного магнетронного распыления: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.07/
по: Сурменев, Р. А. Роман Анатольевич
Публикация: (2008)
