Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
[Б. и.]
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
| Item Description: | Защищена 19.10.2016 г. |
|---|---|
| Physical Description: | 113 л. ил. |
| Bibliography: | Библиогр.: с. 97-113 (150 назв.) |