|
|
|
|
| LEADER |
02689nbm a2200457 4500 |
| 001 |
libtpu00323877 |
| 008 |
161031 20161019ru a 0001 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook349465
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 040 |
|
|
|a RU
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Киселева, Е. С.
|c физик
|c старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|d 1982-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
|b диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|b спец. 01.04.07
|c Е. С. Киселева
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|b [Б. и.]
|c 2016
|
| 300 |
|
|
|a 113 л.
|b ил.
|
| 500 |
|
|
|a Защищена 19.10.2016 г.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 97-113 (150 назв.)
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Тонкопленочные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a диоксид титана
|
| 653 |
|
|
|a оксинитрид титана
|
| 653 |
|
|
|a осаждение
|
| 653 |
|
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
|
|
|a применение
|
| 653 |
|
|
|a ионно-плазменное распыление
|
| 653 |
|
|
|a нанесение
|
| 653 |
|
|
|a адсорбция
|
| 653 |
|
|
|a нанокристаллические покрытия
|
| 653 |
|
|
|a спектроскопия
|
| 653 |
|
|
|a вторично-ионная масс-спектроскопия
|
| 653 |
|
|
|a Ожэ-спектроскопия
|
| 653 |
|
|
|a нанотвердость
|
| 653 |
|
|
|a механические характеристики
|
| 653 |
|
|
|a триботехнические свойства
|
| 653 |
|
|
|a реактивное магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a структура
|
| 653 |
|
|
|a диссертации
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
1 |
|
|a Никитенков
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Николай Николаевич
|4 727
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НТБ ТПУ
|u https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=323877
|
