Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07 - Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982- ([Б. и.], 2016)