Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Библиографическая информация
Главный автор: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Другие авторы: Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск [Б. и.] 2016
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог НТБ ТПУ