Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Похожие документы

• Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
  по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
  Публикация: (2016)
• Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
  по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
  Публикация: (2016)
• Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления
• Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
• Микроструктура и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
  по: Кузьминов, Евгений Дмитриевич