|
|
|
|
| LEADER |
02371nlm a2200385 4500 |
| 001 |
libtpu00328590 |
| 008 |
170220s2016 ru a 0000 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook354290
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUbook354270
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Киселева, Е. С.
|c физик
|c старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|d 1982-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
|b диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|b спец. 01.04.07
|c Е. С. Киселева
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2016
|
| 300 |
|
|
|a 1 файл (3338 Kb)
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Тонкопленочные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a диссертации
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a физико-механические свойства
|
| 653 |
|
|
|a пленки
|
| 653 |
|
|
|a диоксид титана
|
| 653 |
|
|
|a оксинитрид титана
|
| 653 |
|
|
|a реактивное магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a механические свойства
|
| 653 |
|
|
|a структуры
|
| 653 |
|
|
|a элементный состав
|
| 653 |
|
|
|a импульсное магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a масс-спектрометрия
|
| 653 |
|
|
|a рентгенофазовый анализ
|
| 700 |
1 |
|
|a Никитенков
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Николай Николаевич
|4 727
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
|
