Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Main Author: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Other Authors: Никитенков российский физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2016
Subjects:
Тонкопленочные покрытия
электронный ресурс
диссертации
труды учёных ТПУ
физико-механические свойства
пленки
диоксид титана
оксинитрид титана
реактивное магнетронное распыление
механические свойства
структуры
элементный состав
импульсное магнетронное распыление
масс-спектрометрия
рентгенофазовый анализ
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527

Similar Items

Similar Items