|
|
|
|
| LEADER |
02119nlm a2200385 4500 |
| 001 |
libtpu00335736 |
| 008 |
171002s2017 ru a 0000 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook362148
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUbook362147
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.385.64(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Юрьева, А. В.
|c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий
|c ассистент Томского политехнического университета
|d 1983-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью
|b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|b спец. 01.04.07
|c А. В. Юрьева
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2017
|
| 300 |
|
|
|a 1 файл (3 210 KB)
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Магнетроны
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a диссертации
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a осаждение
|
| 653 |
|
|
|a металлические покрытия
|
| 653 |
|
|
|a жидкофазные мишени
|
| 653 |
|
|
|a фазовые превращения
|
| 653 |
|
|
|a плазма
|
| 653 |
|
|
|a спектрометрия
|
| 653 |
|
|
|a функциональные характеристики
|
| 653 |
|
|
|a медные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a пленки
|
| 653 |
|
|
|a мишени
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 700 |
1 |
|
|a Кривобоков
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Валерий Павлович
|4 727
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215
|
