Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Main Author: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Other Authors: Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2017
Subjects:
Магнетроны
электронный ресурс
диссертации
труды учёных ТПУ
осаждение
металлические покрытия
жидкофазные мишени
фазовые превращения
плазма
спектрометрия
функциональные характеристики
медные покрытия
пленки
мишени
магнетронные распылительные системы
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215

Similar Items

Similar Items