Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Main Author: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Other Authors: Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск [Б. и.] 2017
Subjects:
Магнетроны
жидкофазные мишени
фазовые превращения
металлические покрытия
скоростное осаждение
твердые тела
модифицирующие плазменные покрытия
магнетронные распылительные системы
функциональные характеристики
медные покрытия
свойства
исследование
диссертации
труды учёных ТПУ
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТПУ
Description
Item Description:Защищена 27.12.2017 г.
Physical Description:118 л. ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 108-118 (108 назв.)

Similar Items