Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Библиографическая информация
Главный автор: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Другие авторы: Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск [Б. и.] 2017
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог НТБ ТПУ

Похожие документы