|
|
|
|
| LEADER |
02074nlm a2200385 4500 |
| 001 |
libtpu00341552 |
| 008 |
181008s2018 ru a d 0000 m rus |
| 035 |
0 |
0 |
|a (RuTPU)RUTPUbook369606
|
| 035 |
0 |
0 |
|a RUTPUbook369604
|
| 040 |
|
|
|a RU
|b rus
|c RU
|d Ru-TPU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|
| 084 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 100 |
1 |
|
|a Сиделёв, Д. В.
|c физик
|c инженер кафедры Томского политехнического университета
|d 1991-
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью
|b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|b спец. 01.04.07
|c Д. В. Сиделёв
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2018
|
| 300 |
|
|
|a 1 файл (2 576 KB)
|
| 500 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 500 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 650 |
1 |
0 |
|a Тонкопленочные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a электронный ресурс
|
| 653 |
|
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 653 |
|
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 653 |
|
|
|a осаждение
|
| 653 |
|
|
|a покрытия
|
| 653 |
|
|
|a хром
|
| 653 |
|
|
|a никель
|
| 653 |
|
|
|a магнетронные диоды
|
| 653 |
|
|
|a мишени
|
| 653 |
|
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
|
|
|a тонкопленочные материалы
|
| 653 |
|
|
|a магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a металлические мишени
|
| 653 |
|
|
|a кристаллические структуры
|
| 700 |
1 |
|
|a Кривобоков
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|g Валерий Павлович
|4 727
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826
|
