Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Показать другие варианты (1)

Библиографическая информация
Главный автор:	Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Другие авторы:	Кривобоков физик профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук (727)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск 2018
Предметы:	Тонкопленочные покрытия электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ осаждение покрытия хром никель магнетронные диоды мишени тонкие пленки тонкопленочные материалы магнетронное распыление металлические мишени кристаллические структуры
Online-ссылка:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52826

Похожие документы

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Характеристика тонкопленочного высокоэнтропийного покрытия Fe40Ni23.5Al22.8Co12.8W0.9, полученного радиочастотным магнетронным распылением
по: Бледнова, Жесфина Михайловна

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
по: Блейхер, Галина Алексеевна

Разработка биодеградируемых полимерных скаффолдов с модифицированной поверхностью для восстановления мягких тканей: автореферат ... кандидата технических наук: 1.3.8; 2.2.12/
по: Марьин, П. В. Павел Владимирович
Публикация: (2023)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Сыпченко, В. С. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат наук 1987-
Публикация: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Синтез и свойства покрытий на основе титана, осажденных в плазме магнетронного разряда диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 05.17.02
по: Бойцова, Е. Л. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1975-
Публикация: (2020)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Синтез и свойства покрытий на основе титана, осажденных в плазме магнетронного разряда автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 05.17.02
по: Бойцова, Е. Л. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1975-
Публикация: (2020)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Федоткин, А. Ю. физик инженер Томского политехнического университета 1994-
Публикация: (2022)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Федоткин, А. Ю. физик инженер Томского политехнического университета 1994-
Публикация: (2022)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Федоткин, А. Ю. физик инженер Томского политехнического университета 1994-
Публикация: (2022)

Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом
по: Захаров, А. Н.

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Структура и состав трехслойных покрытий AlSiN+Ni+AlSiN, полученных методом магнетронного распыления

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Установка для нанесения кальцийфосфатных покрытий в плазме ВЧ-магнетронного разряда на медицинские имплантаты

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Физические основы наклонного напыления фосфатов кальция из плазмы ВЧ-магнетронного разряда

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/
по: Юрьева, А. В. Алена Викторовна
Публикация: (2017)

Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку

Роль кремния в формировании многокомпонентных поверхностных сплавов на основе Ti с низкой концентрацией никеля на подложках из никелида титана
по: Мейснер, Людмила Леонидовна

Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Конищев, М. Е. физик старший преподаватель Томского политехнического университета 1987-
Публикация: (2025)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Сыпченко, В. С. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат наук 1987-
Публикация: (2016)

Формирование биосовместимых кальций-фосфатных покрытий методом высокочастотного магнетронного распыления: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.07/
по: Сурменев, Р. А. Роман Анатольевич
Публикация: (2008)