Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
[Б. и.]
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТПУ |
| Item Description: | Защита сост. 12.12.2018 г. |
|---|---|
| Physical Description: | 22 с. ил. |
| Bibliography: | Библиогр.: с. 21-22 (18 назв.) |
